光刻胶市场规模及份额
光刻胶市场分析
光刻胶市场规模预计到2025年为26亿美元,预计到2030年将达到44.8亿美元,预测期内(2025-2030年)复合年增长率为11.49%。亚 10 纳米尺寸极紫外 (EUV) 光刻技术的广泛部署、对人工智能 (AI) 加速器的快速增长的需求以及政府资助的晶圆厂激励措施支撑了这一扩张。台湾、韩国和美国的半导体制造商越来越青睐金属氧化物和干光刻胶,它们可以提供更高的 EUV 吸收率和更低的线边缘粗糙度,从而提高产量并减少每层光刻胶的使用。 5G 和物联网 (IoT) 设备的并行发展势头维持了对成熟节点 G 线、I 线和 KrF 材料的需求。与此同时,先进的封装架构——例如小芯片、扇出晶圆级封装kaging 和共封装光学器件 - 需要与铜柱和硅通孔 (TSV) 结构兼容的厚膜抗蚀剂。供应链风险仍然很高,因为三个日本供应商合计约占先进光刻胶的 60%,促进了北美和欧洲的区域多元化和本地化产能增加。
主要报告要点
- 按光刻胶类型划分,ArF 浸没式在 2024 年占据光刻胶市场份额的 32.4%,而 EUV 金属氧化物和干光刻胶预计将以到 2030 年,复合年增长率为 13.12%。
- 从基调来看,正性光刻胶到 2024 年将占据 72.3% 的收入份额;负性光刻胶的复合年增长率最快,到 2030 年将达到 11.56%。
- 按应用划分,到 2024 年,半导体和 IC 占光刻胶市场规模的 55.6%,而先进封装预计到 2030 年将以 12.12% 的复合年增长率增长。
- 按最终用户行业,电子和电气占 2024 年光刻胶市场规模的 62.10%。 2024年,而汽车和移动出行预计到 2030 年将以 12.02% 的最快复合年增长率增长。
- 按地理位置划分,亚太地区在 2024 年占据最大市场份额,占 72.8% 的市场份额。不过,预计北美地区在预测期内将以 11.67% 的复合年增长率增长最快。
全球光刻胶市场趋势和见解
驱动因素影响分析
| 地理相关性 | ||||
|---|---|---|---|---|
| 半导体和人工智能加速器的需求 | +3.2% | 台湾、韩国,美国,全球溢出效应 | 中期(2-4年) | |
| EUV光刻采用和高NA路线图 | +2.8% | 亚太核心; 北美和欧洲紧随其后 | 长期(≥ 4 年) | |
| 5G/IoT 设备驱动的晶圆启动 | +2.1% | 亚太制造中心 | 短期(≤ 2 年) | |
| 美国/欧盟晶圆厂激励计划 | +1.9% | 北美和欧盟 | +1.9%td> | 中期(2–4 年) |
| 干沉积金属氧化物抗蚀剂 | +1.5% | 台湾和韩国的领先晶圆厂 | 长期(≥ 4 年) | |
| 来源: | ||||
半导体和人工智能加速器需求不断增长
制造大型语言模型和推理加速器的芯片制造商现在为每个设备设计多个重新分布层、中介层和 TSV。 NVIDIA 的 H100 和即将推出的 Blackwell 系列采用小芯片布局,每个成品部件消耗的光刻胶比以前的单片 GPU 多三到五倍[1]NVIDIA,“H100 Tensor Core GPU 架构”,nvidia.com。台积电 (TSMC) 扩大 CoWoS 产能,将厚膜抗蚀剂厚度提升至 50 µm,而先进的铜柱电镀则采用针对纵横比高于 3:1 进行优化的负色调配方。产量增长首先出现在台湾和韩国,但到 2027 年将波及到美国的新晶圆厂。
加速 EUV 光刻采用和高数值孔径路线图
ASML 的 0.55 数值孔径 EUV 扫描仪可实现 8 纳米间距的单次曝光图案化,从而消除昂贵的多重图案化步骤。为了满足低于 1.5 nm 的更严格的线边缘粗糙度目标,晶圆厂对基于铪和锆簇的金属氧化物抗蚀剂进行了鉴定,其吸收 EUV 的效率比有机配方高 9 倍 [2]SPIE,“金属氧化物 EUV 的进展光刻胶,”spie.org。剂量约n 从 40 mJ/cm² 降低至低于 20 mJ/cm²,从而提高产量并降低每片晶圆的成本。 2025 年在三星平泽生产线进行的试运行表明 2 纳米节点将在 2026 年实现商业采用。
5G/物联网设备扩散扩大晶圆开始
2025 年全球 5G 用户数量将超过 20 亿,推动对依赖 G 线和 KrF 抗蚀剂的砷化镓和碳化硅晶圆生产的射频前端模块的需求。物联网传感器(其中许多采用微机电系统 (MEMS))需要厚正性光刻胶来定义高深宽比结构。中国的目标是到2025年达到全球成熟节点容量的25%;中芯国际和华虹正在加大28纳米和40纳米生产线的建设,以服务汽车和工业电子领域,从而进一步扩大光刻胶市场。
政府晶圆厂激励计划(美国/欧盟芯片法案)
美国《芯片与科学法案》自2017年起拨款527亿美元拨款和税收积极推动英特尔俄亥俄州工厂、台积电亚利桑那州园区和三星德克萨斯州工厂的建设。欧盟《芯片法案》的目标是到 2030 年占据全球 20% 的生产份额,为英特尔在爱尔兰的扩张和德国的未来工厂提供资金。日本5万亿日元计划支持台积电熊本工厂的国内生产,加强当地化学品供应并推进民族主义材料战略。
限制影响分析
| 有关溶剂和光致产酸剂的严格 HSE 规则 | –1.8% | 欧盟; 美国;日本 | 短期(≤ 2 年) |
| 供应链集中度和出口管制风险 | –1.4% | 中国; 依赖进口的地区 | 中期(2–4 年) |
| 欧盟 REACH 和含氟气体逐步淘汰氟化溶剂 | –0.9% | 欧洲联盟; 对配方的全球影响 | 长期(≥ 4 年) |
| 来源: | |||
针对溶剂和光酸的严格 HSE 法规发电机
欧盟 2024 年修订根据法规 (EU) 2024/573,计划在 2045 年之前将氢氟碳化合物的使用量逐步减少 90%。许多 EUV 光致抗蚀剂现在采用全氟光致产酸剂和溶剂,需要进行注册、评估和授权。合规性要求对杂质水平低于 1 ppb 进行分析验证,这会增加质量控制成本,并迫使配方设计师测试可能降低性能风险的替代化学物质。
供应链浓度和出口管制暴露
日本供应商 JSR、Tokyo Ohka Kogyo 和 Shin-Etsu Chemical 总共供应超过 70% 的先进 EUV 级光刻胶。美国 2025 年出口管制更新将许可范围扩大到对 10 纳米以下图案化至关重要的专用光酸发生器,这限制了中国铸造厂。尽管中国为北京科华新化学等国内生产商提供资金,但技术差距仍达五年或更长,这使得依赖进口的晶圆厂面临潜在的短缺。
细分市场分析
按光刻胶类型:金属氧化物创新推动 EUV 转型
由于台积电、三星和英特尔对 7 nm 和 5 nm 产量的持续需求,ArF 浸没式配方在 2024 年将占据光刻胶市场规模的 32.4% 份额。相反,EUV 金属氧化物和干抗蚀剂预计将实现 13.12% 的复合年增长率,随着晶圆厂向 2 nm 逻辑过渡,产生最大的增量值。铪基团簇的耐蚀刻性超过有机聚合物的 25 倍,无需硬掩模即可直接转移到介电层,从而缩短了工艺流程。
泛林研究的干沉积抗蚀剂消除了旋转浪费,并将化学品消耗减少了 90%。该平台的目标是 2026 年实现大规模生产,因此可以将材料收入从湿化学供应商转向设备集成交付。 KrF、G 线和 I 线抗蚀剂对于汽车仍然至关重要
按色调:负性光刻胶在先进应用中获得关注
正色调材料在光刻胶市场中占据主导地位,到 2024 年将占据 72.3% 的份额。负色调光刻胶,特别是环氧基和金属氧化物系统,预计到 2030 年,随着对光刻胶的需求,负色调光刻胶的复合年增长率将达到 11.56%。先进封装浪涌中的高厚度层。
负性抗蚀剂可在铜柱电镀过程中承受高电流密度,并实现超过 3:1 的深宽比,这对于细间距凸块形成至关重要。新兴的双色调氧化锡平台通过剂量控制切换色调来提供工艺灵活性; imec 的早期测试显示,在 20 mJ/cm² 曝光下,分辨率可达到 16 nm 以下。
按应用划分:人工智能需求推动先进封装激增
半导体和 IC 到 2024 年将占据光刻胶总体市场规模的 55.6%。先进封装排名最快,位居第 12 位。12% 的复合年增长率,得益于需要多个再分布层、TSV 和晶圆级底部填充图案的小芯片架构。
扇出晶圆级封装将高密度布线与薄型组件相结合,要求厚膜负性抗蚀剂可以在一次通过中旋涂至 50 µm。用于数据中心的共封装光学器件将硅光子波导形成纳入光刻流程,从而对与 III-V 族材料兼容的低温固化光刻胶产生了新的需求。
按最终用户行业:汽车电子加速增长
电子和电气行业在 2024 年将保持 62.1% 的收入,但汽车和移动应用预计将以 12.02% 的复合年增长率增长电动汽车 (EV) 的采用和自动驾驶传感器的普及。
EV 电源模块依赖于在 400 °C 以上处理的碳化硅器件,需要耐高温的抗蚀剂。雷达和 LiDAR 组件集成了 MEMS 反射镜和磷化铟激光器,均采用专用光刻胶制造,可提供垂直侧壁和 ≤ 100 nm 的尺寸公差。
地理分析
在台湾和韩国密集的逻辑产能以及不断扩大的成熟节点的推动下,2024 年亚太地区的收入占全球收入的 72.8%中国的晶圆厂。台积电的 2nm 产能和高性能计算封装线消耗了越来越多的 EUV 和厚膜材料,而三星的 3D NAND 产能则推动了对高选择性 KrF 光刻胶的需求。日本的设备生态系统——东京电子涂层轨道和尼康步进机——为国内供应商提供支持,创建了紧密集成的供应链。
由于《CHIPS 法案》刺激了新的新建晶圆厂的建设,预计到 2030 年,北美的复合年增长率将达到 11.67%。英特尔俄亥俄州园区、台积电亚利桑那州工厂和三星德克萨斯州工厂加起来超过到 2028 年,领先产能达到 300,000 WPM,支撑当地光刻胶和辅助化学品需求。杜邦公司在科罗拉多州的扩张和陶氏化学公司在密歇根州的扩张旨在向该地区供货并降低跨太平洋物流风险。
欧洲面临严格的 REACH 合规性,这会提高配方成本,但受益于英特尔在爱尔兰的大规模投资和在德国的未来晶圆厂。当地材料供应商默克和巴斯夫利用对监管的熟悉程度来确保 EUV 生产线的资格。东欧国家青睐封装和测试业务,进一步实现区域布局多元化。
中东、非洲和南美洲仍处于萌芽状态,但追求特种封装和 MEMS 制造,特别是电信基站和汽车传感器领域。地方政府提供税收抵免来吸引后端组装,为 G 线和 I 线工艺带来增量光刻胶产量,而先进节点则集中在其他地方。
竞争格局
光刻胶市场得到整合。 JSR 被 Japan Industrial Partners 斥资 64 亿美元收购,整合了资产并为 EUV 金属氧化物研发提供资金,使该集团能够挑战杜邦在负性厚膜生产线的主导地位。 Tokyo Ohka Kogyo 投资美国生产以符合 CHIPS 法案的激励措施,而 Shin-Etsu Chemical 利用内部氟化物能力开发低释气 EUV 光刻胶。环境合规性正在成为一个关键的差异化因素。富士胶片推出了与 EUV 抗蚀剂兼容的无氟显影剂,而默克公司则试点生物基溶剂。战略储备和双重采购协议可以对冲出口管制冲击,特别是对于在地缘政治敏感地区运营的晶圆厂而言。
近期行业发展
- 2025 年 5 月:旭化成公司为了应对先进半导体封装不断增长的需求,特别是在人工智能 (AI) 服务器等应用中,推出了 TA 系列 Sunfort 干膜光刻胶。
- 2025 年 2 月:住友化学有限公司宣布计划扩大其位于大阪的前端和后端半导体制造工艺的光刻胶开发和质量评估设施。在日本工作。
FAQs
2025年光刻胶市场规模有多大?
2025年光刻胶市场规模达到26亿美元,并有望稳定增长
到 2030 年光刻胶的复合年增长率预计是多少?
全球收入预计将以 11.49% 的复合年增长率增长2025 年和 2030 年。
哪种抗蚀剂类型增长最快?
EUV 金属氧化物和干抗蚀剂以预计到 2030 年复合年增长率为 13.12%。
小芯片和扇出晶圆级设计需要多个厚膜光刻步骤,从而以 12.12% 的复合年增长率提高光刻胶消耗。
哪个地区扩张最快?
在美国 CHIPS 法案资助的晶圆厂的推动下,北美复合年增长率最高,达到 11.67%。





